設備名稱

真空感應熔煉爐（2020.12.3——升利實驗室審核）

感應加熱電源

? 工作電壓：三相，380V AC 50/60HZ

? *大輸入功率：20KW

? 空氣開關：需60A的空氣開關

? 保護：自動水壓，超溫和超功率保護

? 輸出頻率：30-80KHZ

? 循環比：80%

溫度控制器&熱電偶

? 工作電壓;208~240V AC,單相

? 采用PID方式控溫，可設置30段升降溫程序

? 設置有超溫&斷偶保護

? 控溫精度：+/- 5 oC

? 采用C型熱偶（進口Ω熱電偶），探頭伸入到石墨坩堝內

? 連續工作溫度: 1000oC~1700oC

? *大升溫速率:

? 10oC/second (1000oC-1200oC)
? 8oC/second (1200oC~1500oC)
? 3oC~6oC/second (1500oC~1700oC)

? 1700℃(恒溫時間<10min）

? 1600℃(恒溫<1小時)

真空法蘭、石英管和防護罩

? 不銹鋼法蘭上帶有高溫硅膠O型圈，在法蘭上安裝兩個閥門和真空計

? 一端封閉的石英管：150mm(OD)*142mm(ID)*300mm(L)

? 在法蘭上連接KF25接頭和KF25的波紋管用于連接真空泵

循環水冷機

? 溫度范圍：5~30°C

? 水流量：16L/min

? 水箱：不銹鋼材質，容積為12L

? 注意：建議使用特定的冷卻液以獲得*佳性能。在幾次加熱試驗后，等待幾分鐘冷卻屬于正?，F象。

真空泵

? 標配一個VRD-8的雙極旋片機械泵

? 電壓：AC 208-240 50hz,單相

? *大功率：800W

產品尺寸

? 感應加熱爐：530mm*220mm*430mm

? 水冷機：590mm*380mm*760mm

? 移動鋼框爐架：700mm(L)*1000mm(W)*700mm(H)

（用于放置感應加熱器和石英管）

凈重

? 60kg

質保期

?一年保修，終身技術支持。

特別提示：

1.耗材部分如爐管，耐火材料，密封圈，石墨坩堝和感應圈等不包含在內。

2.因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內。

注意事項

· 為了保護石墨坩堝和C熱電偶，在整個實驗過程必須在流動惰性氣氛環境中進行。氣體流量應限制在< 200SCCM

· C型熱電偶是耗材，不在我們的保修范圍內

· 在連續的氣體流動狀態下，所有的氣路壓力都在0.02MPa以下。石英管內氣壓超過0.02MPa后，可能對爐膛造成不可逆轉的破壞

· 當出氣口關閉，爐腔內存在正壓狀態時，不要加熱爐子。在加熱過程中，必須使用壓力表來密切監測加熱腔體內情況，一旦燃燒室壓力超過0.02MPa，請立即打開放氣閥，以防止不可預見的損壞

· 熔化時間和溫度與材料、坩堝、耐火絕緣等有關。如果不知道感應加熱器是否能熔化您的樣品，請聯系我們的工程師咨詢

· 石英管內部氣壓必須<0.02MPa(相對氣壓）

· 所用氣瓶上必須安裝減壓閥（可在本公司購買）

應用

? 此設備可改為RTP（快速熱處理爐）和混合物理化學氣相沉積（HPCVD）系統，請點擊下面的圖片查看，如您有任何特殊需求可聯系我們